1

Double-layer resist films for submicrometer electron-beam lithography

Année:
1980
Langue:
english
Fichier:
PDF, 766 KB
english, 1980
7

Self-aligned phase shifting mask for contact hole fabrication

Année:
1991
Langue:
english
Fichier:
PDF, 406 KB
english, 1991
8

An objective lens system for e-beam cell projection lithography

Année:
1994
Langue:
english
Fichier:
PDF, 323 KB
english, 1994
21

Electron beam tester for logic LSIs

Année:
1989
Langue:
english
Fichier:
PDF, 780 KB
english, 1989
23

A novel silicon containing chemical amplification resist for electron beam lithography

Année:
1991
Langue:
english
Fichier:
PDF, 248 KB
english, 1991
24

Low energy silicon etching technologies

Année:
1991
Langue:
english
Fichier:
PDF, 593 KB
english, 1991
26

E-beam fault diagnosis system for logic VLSIs

Année:
1992
Langue:
english
Fichier:
PDF, 677 KB
english, 1992
27

E-beam correction methods for cell projection optical system

Année:
1993
Langue:
english
Fichier:
PDF, 277 KB
english, 1993
33

Passivation of trap states in polycrystalline Si by cyanide treatments

Année:
1999
Langue:
english
Fichier:
PDF, 157 KB
english, 1999
36

Beam characteristics for various sizes of annular aperture on scanning electron microscope

Année:
2001
Langue:
english
Fichier:
PDF, 857 KB
english, 2001
48

Second subunit of Epo receptor?

Année:
1994
Fichier:
PDF, 155 KB
1994