Volume 14; Issue 9-10

Chemical Vapor Deposition

Volume 14; Issue 9-10
3

PECVD Siloxane and Fluorine-Based Copolymer Thin Films

Année:
2008
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english
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english, 2008
8

Thin Polymer Films with High Step Coverage in Microtrenches by Initiated CVD

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2008
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english
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english, 2008
10

Contents: (Chem. Vap. Deposition 9–10/2008)

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2008
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11

Author Index and Subject Index Chem. Vap. Deposition 9–10/2008

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2008
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