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Volume 17; Issue 4
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Microsystem Technologies
Volume 17; Issue 4
Microsystem Technologies
Volume 17; Issue 4
1
The thermal evaluation of the substrate mixed with microencapsulated phase change materials for MEMS packaging applications
Wei-Tzuo Lin
,
De-Shau Huang
,
Ming-Tzer Lin
,
Chi-Ming Lai
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 536 KB
Vos balises:
english, 2011
2
Hot embossing of high performance polymers
M. Worgull
,
A. Kolew
,
M. Heilig
,
M. Schneider
,
H. Dinglreiter
,
B. Rapp
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 562 KB
Vos balises:
english, 2011
3
Fabrication and characterization of MEMS-based flow sensors based on hot films
Rong-Hua Ma
,
Yu-Hsiang Wang
,
Sheng-Ling Chiang
,
Chia-Yen Lee
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 391 KB
Vos balises:
english, 2011
4
The use of pulsed laser deposition to produce low-temperature barium titanate films on nickel tape and carbon fiber fabric
G. Collins
,
D. Elam
,
R. Hackworth
,
R. Kotha
,
A. Ayon
,
A. Chabanov
,
C. L. Chen
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 550 KB
Vos balises:
english, 2011
5
Roll-to-roll hot embossing of microstructures
Thomas Velten
,
Frank Bauerfeld
,
Herbert Schuck
,
Sabine Scherbaum
,
Christof Landesberger
,
Karlheinz Bock
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 699 KB
Vos balises:
english, 2011
6
A novel chip-on-glass method for slim LCD packaging
You-Hung Lin
,
Kang J. Chang
,
Gou-Jen Wang
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.45 MB
Vos balises:
english, 2011
7
Fabrication of wireless sensors on flexible film using screen printing and via filling
C. W. P. Shi
,
Xuechuan Shan
,
G. Tarapata
,
R. Jachowicz
,
J. Weremczuk
,
H. T. Hui
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 663 KB
Vos balises:
english, 2011
8
A piezoelectric energy harvester with a mechanical end stop on one side
Lars-Cyril Julin Blystad
,
Einar Halvorsen
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 575 KB
Vos balises:
english, 2011
9
High-performance MEMS-based gas chromatography column with integrated micro heater
Chia-Yen Lee
,
Chan-Chiung Liu
,
Shih-Chuan Chen
,
Che-Ming Chiang
,
Yu-Hao Su
,
Wen-Cheng Kuo
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 609 KB
Vos balises:
english, 2011
10
Design, modeling and characterization of stable, high Q-factor curved Fabry–Pérot cavities
Maurine Malak
,
Nicolas Pavy
,
Frédéric Marty
,
Elodie Richalot
,
Ai-Qun Liu
,
Tarik Bourouina
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 756 KB
Vos balises:
english, 2011
11
Single-cell-based measurement of supraphysiological thermal injury in human carcinoma cells utilizing a micropatterned hydrogel chip
Chun-Ping Jen
,
Ching-Te Huang
,
Cheng-Han Tsai
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 602 KB
Vos balises:
english, 2011
12
Structure modification of M-AFM probe for the measurement of local conductivity
A. Fujimoto
,
L. Zhang
,
A. Hosoi
,
Y. Ju
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 488 KB
Vos balises:
english, 2011
13
Parametric study of flip-chip packaging for an MEMS device with diaphragm
Cheng-Hsin Chuang
,
Wen-Hui Li
,
Shin-Li Lee
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 587 KB
Vos balises:
english, 2011
14
Hot embossing of micro and sub-micro structured inserts for polymer replication
Alexander Kolew
,
Daniel Münch
,
Karsten Sikora
,
Matthias Worgull
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1011 KB
Vos balises:
english, 2011
15
Leak detection methods for glass capped and polymer sealed MEMS packaging
Suzanne Millar
,
Marc P. Y. Desmulliez
,
Stewart McCracken
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 343 KB
Vos balises:
english, 2011
16
Measurement of static and dynamic mechanical behavior of micro and nano-scale thin metal films: using micro-cantilever beam deflection
Ya-Chi Cheng
,
Chi-Jia Tong
,
Ming-Tzer Lin
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 657 KB
Vos balises:
english, 2011
17
Technology of microthermoforming of complex three-dimensional parts with multiscale features
Markus Heilig
,
Marc Schneider
,
Heinz Dinglreiter
,
Matthias Worgull
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 961 KB
Vos balises:
english, 2011
18
Investigation of parallel heat flow path in electro-thermal microsystems
Péter G. Szabó
,
Vladimír Székely
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 468 KB
Vos balises:
english, 2011
19
Fabrication of a metal protector for a fiber sensor using through-mask electrochemical micromachining with pulse DC power
Wei-Te Wu
,
Wei-Hung Shih
,
Chih-To Wang
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 440 KB
Vos balises:
english, 2011
20
A new design for rotational, tunable wideband RF MEMS capacitors
Julien Pagazani
,
Pierre Nicole
,
Lionel Rousseau
,
Frédéric Marty
,
Gaëlle Lissorgues
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.14 MB
Vos balises:
english, 2011
21
Identification of dynamic nonlinear thermal transfers for precise correction of bias induced by temperature variations
Céline Casenave
,
Gérard Montseny
,
Henri Camon
,
François Blard
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.93 MB
Vos balises:
english, 2011
22
Design, simulation and fabrication of piezoelectric micro generators for aero acoustic applications
Aliza Aini Md Ralib
,
Anis Nurashikin Nordin
,
Raihan Othman
,
Hanim Salleh
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 757 KB
Vos balises:
english, 2011
23
Effect of thermal and mechanical properties variations on microcantilever mass sensor performance
M. Maroufi
,
Sh. Zihajehzadeh
,
M. Shamshirsaz
,
A. H. Rezaie
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 407 KB
Vos balises:
english, 2011
24
Modeling and finite element analysis of mechanical behavior of flexible MEMS components
Marius Pustan
,
Stéphane Paquay
,
Véronique Rochus
,
Jean-Claude Golinval
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.14 MB
Vos balises:
english, 2011
25
Modeling analysis of a triaxial microaccelerometer with piezoelectric thin-film sensing using energy method
Jyh-Cheng Yu
,
Chungda Lee
,
Weinan Kuo
,
Chiaokai Chang
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 572 KB
Vos balises:
english, 2011
26
Simulation of maximum power in the wearable thermoelectric generator with a small thermopile
Vladimir Leonov
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 525 KB
Vos balises:
english, 2011
27
New high fill-factor dual-curvature microlens array fabrication using UV proximity printing
Tsung-Hung Lin
,
Hsiharng Yang
,
Ching-Kong Chao
,
Shih-Yu Hung
,
Jen-Sung Hsu
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 803 KB
Vos balises:
english, 2011
28
Micropatterning of sandwiched FeCuNbSiB/Cu/FeCuNbSiB for the realization of magneto-impedance microsensors
Johan Moulin
,
Marion Woytasik
,
Iman Shahosseini
,
Francisco Alves
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 596 KB
Vos balises:
english, 2011
29
Microsystem Technologies: foreword to special issue on design, test, integration and packaging of MEMS/MOEMS, 2010
Bernard Courtois
,
Bernd Michel
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2011
Langue:
english
Fichier:
PDF, 92 KB
Vos balises:
english, 2011
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