High Purity Silicon Amido Precursors for Low Temperature...

MRS Proceedings 2002 Vol. 716

High Purity Silicon Amido Precursors for Low Temperature Cvd of High к Gate Silicates

Borovik, A.S., Xu, C., Hendrix, B. C., Roeder, J. F., Baum, T. H.

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Volume:

716

Année:

2002

Langue:

english

Journal:

MRS Proceedings

DOI:

10.1557/PROC-716-B2.11

Fichier:

PDF, 60 KB

english, 2002

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