Lateral patterning of GaN polarity using wet etching...

physica status solidi (c) 2010 Vol. 7; Iss. 7-8

Lateral patterning of GaN polarity using wet etching process

Yujiro Fukuhara, Ryuji Katayama, Kentaro Onabe
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Volume:
7
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
3
DOI:
10.1002/pssc.200983643
Fichier:
PDF, 282 KB
english, 2010
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