Effect of Excimer Laser Annealing on Optical Properties of...

MRS Proceedings 2001 / 1 Vol. 693

Effect of Excimer Laser Annealing on Optical Properties of GaN Films Deposited by R.F. Magnetron Sputtering

Sung, Man Young, Sung, Woong-Je, Lee, Yong-Il, Park, Chun-Il, Choi, Woo-Boem, Kim, Sangsig
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Volume:
693
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/proc-693-i3.5.1
Date:
January, 2001
Fichier:
PDF, 335 KB
english, 2001
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