Atomic Oxygen Plasma Effects on Cvd Deposited Diamond-Like...

MRS Proceedings 1991 / 1 Vol. 236

Atomic Oxygen Plasma Effects on Cvd Deposited Diamond-Like Carbon Films

Hale, Jeffrey S., Synowicki, R.A., Nafis, S., Woollam, John A.

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Volume:

236

Langue:

english

Journal:

MRS Proceedings

DOI:

10.1557/proc-236-307

Date:

January, 1991

Fichier:

PDF, 285 KB

english, 1991

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