Diffusivity of Si in the 3C-SiC Buffer Layer on Si(100) by...

MRS Proceedings 2010 / 1 Vol. 1246

Diffusivity of Si in the 3C-SiC Buffer Layer on Si(100) by X-ray Photoelectron Spectroscopy

Chen, Wei-Yu, Lin, Jian-You, Hwang, Jenn-Chang, Huang, Chih-Fang
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Volume:
1246
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/PROC-1246-B07-10
Date:
January, 2010
Fichier:
PDF, 1.98 MB
english, 2010
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