Effect of grain size on the oxidation kinetics of sputtered titanium nitride films: T P Thorpe et al,J Vac Sci Technol,A6, 1988, 1727–1729
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Volume:
39
Année:
1989
Langue:
english
DOI:
10.1016/0042-207x(89)90781-1
Fichier:
PDF, 155 KB
Vos balises:
english, 1989
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