Techniques for testing cryopump capacity: John R Porter,J Vac Sci Technol,A6, 1988, 1214–1216
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Volume:
39
Année:
1989
Langue:
english
DOI:
10.1016/0042-207x(89)90736-7
Fichier:
PDF, 153 KB
Vos balises:
english, 1989
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