Pumping mechanism for N2 gas in a triode ion pump with A1100 aluminum cathode: Y C Liu et al, J Vac Sci Technol, A6, 1988, 139–143
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Volume:
39
Année:
1989
Langue:
english
DOI:
10.1016/0042-207x(89)90710-0
Fichier:
PDF, 107 KB
Vos balises:
english, 1989
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