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Thin film deposition of conductive tin oxide from...

Thin film deposition of conductive tin oxide from tetramethyltin in a low pressure glow discharge diode reactor

Y. Farber, F. Khonsari-Arefi, J. Amouroux
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Volume:
241
Année:
1994
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/0040-6090(94)90442-1
Fichier:
PDF, 430 KB
english, 1994
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