Model Development for Atomic Force Microscope Stage...

SIAM Journal on Applied Mathematics 2006 / 01 Vol. 66; Iss. 6

Model Development for Atomic Force Microscope Stage Mechanisms

Smith, Ralph C., Hatch, Andrew G., De, Tathagata, Salapaka, Murti V., del Rosario, Ricardo C. H., Raye, Julie K.
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Volume:
66
Langue:
english
Journal:
SIAM Journal on Applied Mathematics
DOI:
10.1137/05063307x
Date:
January, 2006
Fichier:
PDF, 436 KB
english, 2006
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