Radical Processes in the Pyrolysis of Trialkyl Compounds of...

Chemical Vapor Deposition 1998 Vol. 4; Iss. 2

Radical Processes in the Pyrolysis of Trialkyl Compounds of Group 13 CVD Precursors

Douglas K. Russell, Graham P. Mills, J. Barrie Raynor, Andrew D. Workman
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Volume:
4
Année:
1998
Langue:
english
Pages:
1
DOI:
10.1002/(sici)1521-3862(199803)04:023.0.co;2-r
Fichier:
PDF, 310 KB
english, 1998
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