Campagne de collecte 15 septembre 2024 – 1 octobre 2024 C'est quoi, la collecte de fonds?

Volume 76

MRS Proceedings

Volume 76
2

Determination of the Threshold Energy of Noble Gas Defects in Silicon Created by Ion Beam Etching

Sawyer, W. D., Weber, J.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
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PDF, 283 KB
english, 1986
3

Boron Diffusion in Polycrystalline Silicon

Ghannam, Moustafa Y., Dutton, Robert W., Novak, Steven W.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 301 KB
english, 1986
4

Micromachining of Silicon Mechanical Structures

Kaminsky, G.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 4.18 MB
english, 1986
8

Ion Beam Machining of Micromechanical Structures

Davies, S. T., Bowen, D. K.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 253 KB
english, 1986
9

Hot Jet Etching through Stencil Masks

Geis, M. W., Pang, S. W., Efremow, N. N.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 354 KB
english, 1986
10

193-NM Excimer Laser-Assisted Etching of Polysilicon

Armacost, K. D., Babu, S. V., Nguyen, S. V., Rembetski, J. F.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.13 MB
english, 1986
11

Anisotropic and Selective Reactive Ion Etching of SiC in CHF3 and Oxygen Plasma

Pan, W-S., Steckl, A. J.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 815 KB
english, 1986
12

Dry Etching Damage in GaAs and Al0.22Ga0.78As

Kirillov, D., Cooper, C. B., Powell, R. A.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 367 KB
english, 1986
13

The Characterization of Silicon Damaged by Low Energy Argon Ion Etching

Seager, C. H., Panitz, J. K. G., Pettit, R. G., Brice, D. K.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 512 KB
english, 1986
16

Reactive Ion Etching of AI(Cu) Alloys

Hu, C.-K., Small, M. B., Schadt, M.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.79 MB
english, 1986
18

A Theoretical Study of the Etchback Planarization Process

Kuo, Yue
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 272 KB
english, 1986
19

Reactive Ion Etching of Multi-Layer Resist

ng, H. Y., Klaus, D. P., Polcari, M. R., molzen, W. W.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.05 MB
english, 1986
21

Nitride, Nitrided Oxide and Oxidized Nitride for Thin Dielectrics

Tay, S. P., Kalnitsky, A., Ellul, J. P.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 348 KB
english, 1986
22

Process-Induced Point Defects in Oxidized Silicon Structures

Caplan, P. J., Poindexter, E. H., Vasudev, P. K., Henderson, R. C.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 327 KB
english, 1986
23

The Composition and Interfacial Properties of Cvd Tungsten Films

Yang, C., Mehta, S., Davies, P.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 711 KB
english, 1986
24

Characterization of W/WSIx/Si Contact Structures under Thermal Annealing for Some X Values

Ogawa, S., Yamazaki, K., Akiyama, S., Terui, Y.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.52 MB
english, 1986
25

Post Oxidation Anneal and Re-Oxidation Effects in 5 nm SiO2 Films

Dori, L., Arienzo, M., Sun, Y. C., Nguyen, T. N., Wetzel, J.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 348 KB
english, 1986
26

Characterization of Bias Sputtered Aluminum Film

Homma, Y., Hinode, K., Terada, T.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.19 MB
english, 1986
27

A Process for 0.5 Micron CMOS Gate Definition

Stanasolovich, D., Katz, S., Schnur, S., Danner, D., Wang, L. K.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.13 MB
english, 1986
28

The Effect of Window Edge Stress on Dopant Diffusion in Silicon

Huang, C. K., Kook, T., Jaccodine, R. J.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 661 KB
english, 1986
29

Gettering Processes for Sub-Micron VLSI

Andrews, John
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 758 KB
english, 1986
30

Materials Surface Processing with Excimer Lasers

Elliott, David J., Piwczyk, Bernhard P.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 690 KB
english, 1986
31

Inside Submicron MOSFETS

Skocpol, W. J.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.29 MB
english, 1986
34

High Field Microscopy Studies of Gallium Arsenide-Metal Interface

Patel, Chand
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 247 KB
english, 1986
37

Thermal Reactions of Bisazides in Resists Containing Double Bonds

Pryde, C. A.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 229 KB
english, 1986
38

Reactive Ion Etching and Lithographic Characterization of a New Organosilicon Resist

Tarascon, R. G., Shugard, A., Reichmanis, E.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 712 KB
english, 1986
39

A Soluble Polydiacetylene, P4BCMU, As a Negative Electron Beam Resist

Marrian, C. R. K., Colton, R. J., Snow, A., Taylor, C. J.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 895 KB
english, 1986
40

Thermal and Mechanical Properties of Cyclized Polybutadiene Dielectrics

Wilkins, C. W., Bair, H. E., Chan, M. G., Hutton, R. S.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 270 KB
english, 1986
41

Microfabrication Technologies for Advanced VLSI Devices

Horiike, Y., Yoshikawa, R., Okano, H., Nakase, M., Komano, H., Takigawa, T.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 3.35 MB
english, 1986
42

Microporous Amorphous Superlattices

Deckman, H. W., Abeles, B., Dunsmuir, J. H., Roxlo, C. B., Tiedje, T.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 2.12 MB
english, 1986
43

30-nm-Scale Device Fabrication for Electron Transport Studies

Rooks, M. J., Mceuen, P., Wind, S., Prober, D. E.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 778 KB
english, 1986
44

Nanometer Lithography for Quantum Scale Devices

Cook, Charles F., Kwiatkowski, Joseph H., Smith, Doran D., Berkowitz, Harry L.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
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PDF, 1.26 MB
english, 1986
46

The Stability of Ion Projection Lithography Masks

Randall, J. N., Bellavance, D., Sivasankar, R.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 307 KB
english, 1986
47

Maskless Patterning of Mo and Si by Focused Ion Beam Implantation

Gamo, Kenji, Yonehara, Katsuyuki, Nagatomo, Shohei, Namba, Susumu
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
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PDF, 795 KB
english, 1986
48

Fabrication of Encapsulated Indium Films for Melting Experiments

Scofield, John H., Epworth, R. W., Tennant, D. M.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.93 MB
english, 1986
49

Submicron Pattern Delineation Using a Pulsed Electron-Beam in Soft Vacuum

Krishnaswamy, Jayaraxn, Li, Lumin, Collins, G. J., Hiraoka, H.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
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PDF, 1.24 MB
english, 1986
50

Silicon as a Mechanical Material

Petersen, Kurt
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
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PDF, 1.99 MB
english, 1986
52

A Silicon Field Emitter Array Planar Vacuum FET Fabricated with Microfabrication Techniques

Gray, Henry F., Campisi, G. J.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
1986
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.18 MB
english, 1986