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Volume 1073
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MRS Proceedings
Volume 1073
MRS Proceedings
Volume 1073
1
Effect of GaAs Surface Treatments on Lanthanum Silicate High-K Dielectric Gate Stack Properties
Lichtenwalner, Daniel J
,
Suri, Rahul
,
Misra, Veena
Journal:
MRS Proceedings
Année:
2008
Langue:
english
Fichier:
PDF, 142 KB
Vos balises:
english, 2008
2
The Study of Hafnium Silicate by Various Nitrogen Gas Annealing Treatment
Suh, Dong Chan
,
Chung, Kwun Bum
,
Cho, Mann-Ho
,
Cho, Young Dae
,
Ko, Dae-Hong
Journal:
MRS Proceedings
Année:
2008
Langue:
english
Fichier:
PDF, 109 KB
Vos balises:
english, 2008
3
Electrical Properties of Thermally Grown HfO2 and HfO2/TiO2/HfO2 MIM Capacitors fabricated on SiO2/Si Substrate and HfO2 MIM Capacitors Fabricated on Sapphire
Miao, Bing
,
Mahapatra, Rajat
,
Wright, Nick
,
Horsfall, Alton
Journal:
MRS Proceedings
Année:
2008
Langue:
english
Fichier:
PDF, 288 KB
Vos balises:
english, 2008
4
Physical origin of colossal dielectric constant in CaCu3Ti4O12 thin film by Pulsed Laser Deposition
Deng, Guochu
,
Yamada, Tomoaki
,
Muralt, Paul
Journal:
MRS Proceedings
Année:
2008
Langue:
english
Fichier:
PDF, 766 KB
Vos balises:
english, 2008
5
Thermally-Stable High Effective Work Function TaCN and Ta2N Films for pMOS Metal Gate Applications
Adelmann, Christoph
,
Lehnen, P.
,
Ragnarsson, L.-Å.
,
Conard, T.
,
Franquet, A.
,
Chang, V. S.
,
Rohr, E.
,
Meersschaut, J.
,
Boissière, O.
,
Lohe, C.
,
Schram, T.
,
Van Elshocht, S.
,
De Gendt, S.
Journal:
MRS Proceedings
Année:
2008
Langue:
english
Fichier:
PDF, 339 KB
Vos balises:
english, 2008
6
Strategies for CMOS Low Equivalent Oxide Thickness Achievement with High-κ Oxides Grown on Si(001) by MBE
Becerra, Loic
,
Merckling, Clément
,
Baboux, Nicolas
,
El-Kazzi, Mario
,
Saint-Girons, Guillaume
,
Vilquin, Bertrand
,
Plossu, Carole
,
Hollinger, Guy
Journal:
MRS Proceedings
Année:
2008
Langue:
english
Fichier:
PDF, 457 KB
Vos balises:
english, 2008
7
In pursuit of “super”high-k ternary oxides: aqueous CSD and material properties
Hardy, An
,
Van Elshocht, Sven
,
D'Haen, Jan
,
De Gendt, Stefan
,
Van Bael, Marlies K.
,
Heyns, Marc
,
D'Olieslaeger, Marc
,
Mullens, Jules
Journal:
MRS Proceedings
Année:
2008
Langue:
english
Fichier:
PDF, 635 KB
Vos balises:
english, 2008
8
Oxygen Vacancies in Amorphous HfO2 and SiO2
Kaneta, Chioko
,
Yamasaki, Takahiro
Journal:
MRS Proceedings
Année:
2008
Langue:
english
Fichier:
PDF, 172 KB
Vos balises:
english, 2008
9
Physico-chemical Characterization of Thin Oxide Films: Difficulties and Solutions
Conard, Thierry
,
Vandervorst, Wilfried
Journal:
MRS Proceedings
Année:
2008
Langue:
english
Fichier:
PDF, 836 KB
Vos balises:
english, 2008
10
Atomic Layer Deposition of HfO2 Thin Films on Si and GaAs Substrates
Hackley, Justin C
,
Demaree, J. Derek
,
Gougousi, Theodosia
Journal:
MRS Proceedings
Année:
2008
Langue:
english
Fichier:
PDF, 156 KB
Vos balises:
english, 2008
11
Work Function Tuning of MoxSiyNz metal gate electrode for Advanced CMOS Technology
Patel, Pommy
,
Buchanan, Douglas A
,
Wallace, Robert M
Journal:
MRS Proceedings
Année:
2008
Langue:
english
Fichier:
PDF, 103 KB
Vos balises:
english, 2008
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