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Volume 13; Issue 3-4
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Microsystem Technologies
Volume 13; Issue 3-4
Microsystem Technologies
Volume 13; Issue 3-4
1
Investigations on possibilities of inline inspection of high aspect ratio microstructures
Rainer Engelke
,
Gisela Ahrens
,
Norbert Arndt-Staufenbiehl
,
Stefan Kopetz
,
Karin Wiesauer
,
Bernd Löchel
,
Henning Schröder
,
Johann Kastner
,
Andreas Neyer
,
David Stifter
,
Gabi Grützner
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 397 KB
Vos balises:
english, 2007
2
Design and UV-LIGA microfabrication of an electro-statically actuated power relay
S. J. Jeong
,
W. Wang
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 608 KB
Vos balises:
english, 2007
3
Geometrical strengthening and tip-sharpening of a microneedle array fabricated by X-ray lithography
Sommawan Khumpuang
,
Mitsuhiro Horade
,
Kazuya Fujioka
,
Susumu Sugiyama
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 571 KB
Vos balises:
english, 2007
4
High aspect ratio air core solenoid inductors using an improved UV-LIGA process with contrast enhancement material
Hong Lu
,
Brandon Pillans
,
Jong-Chang Lee
,
Jeong-Bong Lee
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 570 KB
Vos balises:
english, 2007
5
SU-8 3D microoptic components fabricated by inclined UV lithography in water
Z. Ling
,
K. Lian
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 453 KB
Vos balises:
english, 2007
6
SU-8: promising resist for advanced direct LIGA applications for high aspect ratio mechanical microparts
J. Kouba
,
R. Engelke
,
M. Bednarzik
,
G. Ahrens
,
Heinz-Ulrich Scheunemann
,
G. Gruetzner
,
B. Loechel
,
H. Miller
,
D. Haase
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 449 KB
Vos balises:
english, 2007
7
Effect of seed layer stress on the fabrication of monolithic MEMS microstructure
C. K. Chung
,
Y. J. Fang
,
C. M. Cheng
,
Y. Z. Hong
,
C. H. Wang
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 475 KB
Vos balises:
english, 2007
8
In situ fabrication of SU-8 movable parts by using PAG-diluted SU-8 as the sacrificial layer
Z. Ling
,
K. Lian
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 323 KB
Vos balises:
english, 2007
9
Micro-specific design flow for tool-based microtechnologies
Albert Albers
,
Norbert Burkardt
,
Tobias Deigendesch
,
Jochen Marz
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 390 KB
Vos balises:
english, 2007
10
Process conditions in X-ray lithography for the fabrication of devices with sub-micron feature sizes
Timo Mappes
,
Sven Achenbach
,
Juergen Mohr
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 391 KB
Vos balises:
english, 2007
11
Method for polymer hot embossing process development
Proyag Datta
,
Jost Goettert
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 345 KB
Vos balises:
english, 2007
12
Large area micro hot embossing of Pyrex glass with GC mold machined by dicing
Masaharu Takahashi
,
Yoichi Murakoshi
,
Ryutaro Maeda
,
Kohei Hasegawa
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 580 KB
Vos balises:
english, 2007
13
A new removable resist for high aspect ratio applications
Matthias Schirmer
,
Doris Perseke
,
Eva Zena
,
Daniel Schondelmaier
,
Ivo Rudolph
,
Bernd Loechel
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 276 KB
Vos balises:
english, 2007
14
Processing-microstructure-resulting materials properties of LIGA Ni
K. Lian
,
J. C. Jiang
,
Z. G. Ling
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 423 KB
Vos balises:
english, 2007
15
Fabrication of microgratings on PMMA plate and curved surface by using copper mesh as X-ray lithography mask
Yigui Li
,
Susumu Sugiyama
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 431 KB
Vos balises:
english, 2007
16
Different methods for the fabrication of UV-LIGA molds using SU-8 with tapered de-molding angles
C. Fu
,
H. Huang
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 481 KB
Vos balises:
english, 2007
17
Fabrication of a spiral microcoil using a 3D-LIGA process
Harutaka Mekaru
,
Shinji Kusumi
,
Noriaki Sato
,
Masami Shimizu
,
Michiru Yamashita
,
Osamu Shimada
,
Tadashi Hattori
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 614 KB
Vos balises:
english, 2007
18
Development of precision transfer technology of atmospheric hot embossing by ultrasonic vibration
Harutaka Mekaru
,
Osamu Nakamura
,
Osamu Maruyama
,
Ryutaro Maeda
,
Tadashi Hattori
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 550 KB
Vos balises:
english, 2007
19
Fabrication of micro-gas chromatograph columns for fast chromatography
Abhinav Bhushan
,
Dawit Yemane
,
Dan Trudell
,
Edward B. Overton
,
Jost Goettert
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 646 KB
Vos balises:
english, 2007
20
Fabrication of a polymeric tapered HARMs array utilizing a low-cost nickel electroplated mold insert
In-Hyouk Song
,
Yoonyoung Jin
,
Pratul K. Ajmera
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 299 KB
Vos balises:
english, 2007
21
Fabrication of RF MEMS variable capacitors by deep X-ray lithography and electroplating
Sven Achenbach
,
David Klymyshyn
,
Darcy Haluzan
,
Timo Mappes
,
Garth Wells
,
Jürgen Mohr
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 368 KB
Vos balises:
english, 2007
22
Design and fabrication of a SU-8 based electrostatic microactuator
Wen Dai
,
Kun Lian
,
Wanjun Wang
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 452 KB
Vos balises:
english, 2007
23
Fabrication of high aspect ratio nano gratings using SR lithography
Fumiki Kato
,
Shinya Fujinawa
,
Yigui Li
,
Susumu Sugiyama
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 483 KB
Vos balises:
english, 2007
24
Microlens fabrication using an etched glass master
P. Zhang
,
G. Londe
,
J. Sung
,
E. Johnson
,
M. Lee
,
H. J. Cho
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 365 KB
Vos balises:
english, 2007
25
Mask design compensation for sloped sidewall structures fabricated by X-ray lithography
Mitsuhiro Horade
,
Sommawan Khumpuang
,
Kazuya Fujioka
,
Susumu Sugiyama
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 387 KB
Vos balises:
english, 2007
26
High aspect ratio tapered hollow metallic microneedle arrays with microfluidic interconnector
Kabseog Kim
,
Jeong-Bong Lee
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 400 KB
Vos balises:
english, 2007
27
A hybrid approach for fabrication of polymeric BIOMEMS devices
Varshni Singh
,
Yohannes Desta
,
Proyag Datta
,
Jason Guy
,
Mark Clarke
,
Daniel L. Feedback
,
J. Weimert
,
Jost Goettert
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 627 KB
Vos balises:
english, 2007
28
Structure quality in deep X-ray lithography applying commercial polyimide-based masks
Sven Achenbach
,
Martin Boerner
,
Seichin Kinuta
,
Walter Bacher
,
Juergen Mohr
,
Volker Saile
,
Yasunori Saotome
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 381 KB
Vos balises:
english, 2007
29
Study of PMMA thermal bonding
Xuelin Zhu
,
Gang Liu
,
Yuhua Guo
,
Yangchao Tian
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 406 KB
Vos balises:
english, 2007
30
HARMST, High Aspect Ratio Micro Structure Technology Workshop, Gyenogju, Korea, 10–13 June 2005
Tai Hun Kwon
,
Bernd Michel
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 151 KB
Vos balises:
english, 2007
31
Direct LIGA service for prototyping: status report
B. Loechel
,
J. Goettert
,
Y. M. Desta
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Langue:
english
Fichier:
PDF, 505 KB
Vos balises:
english, 2007
32
High aspect ratio air core solenoid inductors using an improved UV-LIGA process with contrast enhancement material
Hong Lu
,
Brandon Pillans
,
Jong-Chan Lee
,
Kyunghwan Kim
,
Jeong-Bong Lee
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
2007
Fichier:
PDF, 68 KB
Vos balises:
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