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Volume 1; Issue 4
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Microsystem Technologies
Volume 1; Issue 4
Microsystem Technologies
Volume 1; Issue 4
1
Atomic scale simulation of silicon anisotropic chemical etching
H. Camon
,
M. Djafari-Rouhani
,
D. Estève
,
A. M. Gué
,
Z. Moktadir
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
1995
Langue:
english
Fichier:
PDF, 514 KB
Vos balises:
english, 1995
2
Microsystems for independent parallel chemical and biological processing
A. Schober
,
A. Schwienhorst
,
J. M. Köhler
,
M. Fuchs
,
R. Günther
,
M. Thürk
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
1995
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.23 MB
Vos balises:
english, 1995
3
Model transformation for coupled electro-mechanical simulation in an electronics simulator
G. Pelz
,
J. Bielefeld
,
G. Zimmer
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
1995
Langue:
english
Fichier:
PDF, 469 KB
Vos balises:
english, 1995
4
Materials development for thin film actuators
E. Quandt
,
H. Holleck
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
1995
Langue:
english
Fichier:
PDF, 785 KB
Vos balises:
english, 1995
5
Static and dynamic test methods for thin mono- and polycrystalline Si-films
V. Lange
,
G. Higelin
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
1995
Langue:
english
Fichier:
PDF, 526 KB
Vos balises:
english, 1995
6
Monolithic bridge-on-diaphragm structure for pressure sensor applications
H. -J. Wagner
,
A. Schumacher
,
M. Alavi
,
T. Fabula
,
B. Schmidt
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
1995
Langue:
english
Fichier:
PDF, 648 KB
Vos balises:
english, 1995
7
Fabrication of relief-topographic surfaces with a one-step UV-lithographic process
H. J. Quenzer
,
W. Henke
,
W. Hoppe
,
W. Pilz
,
K. Reimer
,
B. Wagner
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
1995
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.45 MB
Vos balises:
english, 1995
8
Micromechanical elements for detection of molecules and molecular design
J. M. Köhler
,
R. Pechmann
,
A. Schaper
,
A. Schober
,
Th. M. Jovin
,
M. Thürk
,
A. Schwienhorst
Journal:
Microsystem Technologies
Année:
1995
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1.84 MB
Vos balises:
english, 1995
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