Laser thermal processing for ultra shallow junction...

Laser thermal processing for ultra shallow junction formation: numerical simulation and comparison with experiments

M. Hernandez, J. Venturini, D. Zahorski, J. Boulmer, D. Débarre, G. Kerrien, T. Sarnet, C. Laviron, M.N. Semeria, D. Camel, J.L. Santailler

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Volume:

208-209

Année:

2003

Langue:

english

Pages:

DOI:

10.1016/s0169-4332(02)01395-8

Fichier:

PDF, 350 KB

english, 2003

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