Absolute quantitative time resolved voltage measurements on...

Absolute quantitative time resolved voltage measurements on 1 μm conducting lines of integrated circuits via electric force microscope-(EFM-) testing

J. Bangert, E. Kubalek
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Volume:
37
Année:
1997
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/s0026-2714(97)00114-5
Fichier:
PDF, 295 KB
english, 1997
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