TEM sample preparation by FIB for carbon nanotube...

Ultramicroscopy 2009 Vol. 109; Iss. 11

TEM sample preparation by FIB for carbon nanotube interconnects

Xiaoxing Ke, Sara Bals, Ainhoa Romo Negreira, Thomas Hantschel, Hugo Bender, Gustaaf Van Tendeloo
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Volume:
109
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1016/j.ultramic.2009.06.011
Fichier:
PDF, 1021 KB
english, 2009
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