Epitaxial growth of AlN on single crystal Mo substrates

Thin Solid Films 2008 Vol. 516; Iss. 15

Epitaxial growth of AlN on single crystal Mo substrates

Koichiro Okamoto, Shigeru Inoue, Takayuki Nakano, Tae-Won Kim, Masaharu Oshima, Hiroshi Fujioka
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Volume:
516
Année:
2008
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.tsf.2007.08.122
Fichier:
PDF, 448 KB
english, 2008
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