Atomic layer deposition of B2O3 thin films at room...

Thin Solid Films 2006 Vol. 514; Iss. 1-2

Atomic layer deposition of B2O3 thin films at room temperature

Matti Putkonen, Lauri Niinistö
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Volume:
514
Année:
2006
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.tsf.2006.03.001
Fichier:
PDF, 193 KB
english, 2006
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