Real-time study of HWCVD a-Si:H film growth using optical...

Thin Solid Films 2006 Vol. 501; Iss. 1-2

Real-time study of HWCVD a-Si:H film growth using optical second harmonic generation spectroscopy

I.M.P. Aarts, J.J.H. Gielis, P.M.J. Grauls, C.M. Leewis, M.C.M. van de Sanden, W.M.M. Kessels
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Volume:
501
Année:
2006
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.tsf.2005.07.109
Fichier:
PDF, 154 KB
english, 2006
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