Design, simulation and testing of electrostatic SOI MUMPs...

Sensors and Actuators A: Physical 2011 Vol. 167; Iss. 1

Design, simulation and testing of electrostatic SOI MUMPs based microgripper integrated with capacitive contact sensor

Shafaat Ahmed Bazaz, Fahimullah Khan, Rana Iqtidar Shakoor
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Volume:
167
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
10
DOI:
10.1016/j.sna.2010.12.003
Fichier:
PDF, 2.77 MB
english, 2011
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