Position encoding and phase control of resonant MOEMS...

Sensors and Actuators A: Physical 2010 Vol. 162; Iss. 2

Position encoding and phase control of resonant MOEMS mirrors

A. Tortschanoff, M. Lenzhofer, A. Frank, M. Wildenhain, T. Sandner, H. Schenk, W. Scherf, A. Kenda
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Volume:
162
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/j.sna.2010.01.011
Fichier:
PDF, 413 KB
english, 2010
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