Design and construction of a two-degree-of-freedom linear...

Precision Engineering 2010 Vol. 34; Iss. 1

Design and construction of a two-degree-of-freedom linear encoder for nanometric measurement of stage position and straightness

Akihide Kimura, Wei Gao, Yoshikazu Arai, Zeng Lijiang
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Volume:
34
Année:
2010
Langue:
english
Pages:
11
DOI:
10.1016/j.precisioneng.2009.05.008
Fichier:
PDF, 2.37 MB
english, 2010
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