Plasma generation in silicon-based inductive grid arrays

Optics and Lasers in Engineering 2009 Vol. 47; Iss. 11

Plasma generation in silicon-based inductive grid arrays

A.A. Kontogeorgos, D.P. Korfiatis, K.A.Th. Thoma, J.C. Vardaxoglou
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Volume:
47
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.optlaseng.2009.06.006
Fichier:
PDF, 280 KB
english, 2009
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