Deposition of titanium nitride on...

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 2009 Vol. 267; Iss. 5

Deposition of titanium nitride on Si(1 0 0) wafers using plasma focus

Tousif Hussain, R. Ahmad, I.A. Khan, Jamil Siddiqui, Nida Khalid, Arshad Saleem Bhatti, Shahzad Naseem
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Volume:
267
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.nimb.2009.01.008
Fichier:
PDF, 638 KB
english, 2009
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