A review of ion beam induced charge microscopy

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 2007 Vol. 264; Iss. 2

A review of ion beam induced charge microscopy

M.B.H. Breese, E. Vittone, G. Vizkelethy, P.J. Sellin
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Volume:
264
Année:
2007
Langue:
english
Pages:
16
DOI:
10.1016/j.nimb.2007.09.031
Fichier:
PDF, 2.68 MB
english, 2007
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