Deformation analysis in microstructures and micro-devices

Microelectronics Reliability 2007 Vol. 47; Iss. 12

Deformation analysis in microstructures and micro-devices

Zhanwei Liu, Huimin Xie, Daining Fang, Changzhi Gu, Yonggang Meng, Weining Wang, Yan Fang, Jianmin Miao
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Volume:
47
Année:
2007
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.microrel.2006.11.019
Fichier:
PDF, 819 KB
english, 2007
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