Comparison of FIB-CVD and EB-CVD growth characteristics

Microelectronic Engineering 2006 Vol. 83; Iss. 4-9

Comparison of FIB-CVD and EB-CVD growth characteristics

Jun-ya Igaki, Kazuhiro Kanda, Yuichi Haruyama, Masahiko Ishida, Yukinori Ochiai, Jun-ichi Fujita, Takashi Kaito, Shinji Matsui
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Volume:
83
Année:
2006
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.mee.2006.01.105
Fichier:
PDF, 220 KB
english, 2006
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