Damage studies in dry etched textured silicon surfaces

Current Applied Physics 2004 Vol. 4; Iss. 2-4

Damage studies in dry etched textured silicon surfaces

G Kumaravelu, M.M Alkaisi, A Bittar, D Macdonald, J Zhao
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Volume:
4
Année:
2004
Langue:
english
Pages:
3
Journal:
Current Applied Physics
DOI:
10.1016/j.cap.2003.10.008
Fichier:
PDF, 287 KB
english, 2004
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