Characterization of silicon transducers with Si3N4 sensing...

Sensors and Actuators B: Chemical 1995 Vol. 25; Iss. 1-3

Characterization of silicon transducers with Si3N4 sensing surfaces by an AFM and a PAB system

Manuela Adami, Dario Alliata, Corrado Del Carlo, Mauro Martini, Luciana Piras, Marco Sartore, Claudio Nicolini
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Volume:
25
Année:
1995
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/0925-4005(95)85196-8
Fichier:
PDF, 2.08 MB
english, 1995
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