Fabrication of SiC concave microlens array mold based on...

Microelectronic Engineering 2021 / 02 Vol. 236

Fabrication of SiC concave microlens array mold based on microspheres self-assembly

Xu, Ruzhen, Zhou, Tianfeng, Cheung, Rebecca
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Volume:
236
Journal:
Microelectronic Engineering
DOI:
10.1016/j.mee.2020.111481
Date:
February, 2021
Fichier:
PDF, 284 KB
2021
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