In-situ light scattering studies of substrate cleaning and...

In-situ light scattering studies of substrate cleaning and layer nucleation in silicon MBE

D.J. Robbins, A.J. Pidduck, A.G. Cullis, N.G. Chew, R.W. Hardeman, D.B. Gasson, C. Pickering, A.C. Daw, M. Johnson, R. Jones

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Volume:

Année:

1987

Langue:

english

Pages:

DOI:

10.1016/0022-0248(87)90427-1

Fichier:

PDF, 920 KB

english, 1987

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