[American Institute of Aeronautics and Astronautics 5th AIAA/CEAS Aeroacoustics Conference and Exhibit - Bellevue,WA,U.S.A. (10 May 1999 - 12 May 1999)] 5th AIAA/CEAS Aeroacoustics Conference and Exhibit - A piezoresistive MEMS sensor for acoustic noise measurements

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