Optical Emission Spectroscopy of Magnethron Discharge Ar/Cu...

Plasma Physics and Technology Journal 2019 Vol. 6; Iss. 1

Optical Emission Spectroscopy of Magnethron Discharge Ar/Cu Plasma

Murmantsev, A., Veklich, A., Boretskij, V., Shapovalov, A., Kalenyuk, A.
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Volume:
6
Année:
2019
Journal:
PLASMA PHYSICS AND TECHNOLOGY
DOI:
10.14311/ppt.2019.1.87
Fichier:
PDF, 865 KB
2019
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