Integration of the Ni/InP system on a 300 mm platform for...

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 2020 / 01 Vol. 38; Iss. 1

Integration of the Ni/InP system on a 300 mm platform for III-V/Si hybrid lasers

Boyer, Flore, Gergaud, Patrice, Dabertrand, Karen, Mariolle, Denis, Jany, Christophe, Nemouchi, Fabrice, Grégoire, Magali, Rafhay, Quentin, Rodriguez, Philippe
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Volume:
38
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology B
DOI:
10.1116/1.5128554
Date:
January, 2020
Fichier:
PDF, 7.15 MB
2020
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