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IEEE Sensors Journal 2020

A novel MEMS tunable comb resonator with non-uniform varied finger lengths

Taherian, Sina, Ganji, Bahram Azizollah, Jafari-Talookolaei, Ramazan-Ali
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Année:
2020
Journal:
IEEE Sensors Journal
DOI:
10.1109/JSEN.2020.3007264
Fichier:
PDF, 1.12 MB
2020
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