Structure and Morphology of Inclusions in 4° Offcut 4H-SiC...

Journal of Electronic Materials 2011 / 04 Vol. 40; Iss. 4

Structure and Morphology of Inclusions in 4° Offcut 4H-SiC Epitaxial Layers

Nadeemullah A. Mahadik, Robert E. Stahlbush, Syed B. Qadri, Orest J. Glembocki, Dimitri A. Alexson, Karl D. Hobart, Joshua D. Caldwell, Rachael L. Myers-Ward, Joseph L. Tedesco, Charles R. Eddy, D. Ku
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Volume:
40
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1007/s11664-011-1570-8
Date:
April, 2011
Fichier:
PDF, 533 KB
english, 2011
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