Nucleation Mechanism of 6H-SiC Polytype Inclusions Inside...

Journal of Electronic Materials 2010 / 06 Vol. 39; Iss. 6

Nucleation Mechanism of 6H-SiC Polytype Inclusions Inside 15R-SiC Crystals

Yu Zhang, Hui Chen, Gloria Choi, Balaji Raghothamachar, Michael Dudley, James H. Edgar, Krzysztof Grasza, Emil Tymicki, Lihua Zhang, Dong Su, Yimei Zhu
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Volume:
39
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1007/s11664-010-1105-8
Date:
June, 2010
Fichier:
PDF, 1.21 MB
english, 2010
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