Ultra-Thin Si1−xGexDislocation Blocking Layers for...

Journal of Electronic Materials 2007 / 06 Vol. 36; Iss. 6

Ultra-Thin Si1−xGexDislocation Blocking Layers for Ge/Strained Si CMOS Devices

Sachin Joshi, Sagnik Dey, Michelle Chaumont, Alan Campion, Sanjay K. Banerjee
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Volume:
36
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1007/s11664-007-0137-1
Date:
June, 2007
Fichier:
PDF, 426 KB
english, 2007
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