Phosphorus implantation into 4H-silicon carbide
M. A. Capano, R. Santhakumar, R. Venugopal, M. R. Melloch, J. A. CooperVolume:
29
Année:
2000
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1007/s11664-000-0144-y
Fichier:
PDF, 133 KB
english, 2000