Removal of Carbon Contamination on Si Wafers with an...

Metallurgical and Materials Transactions A 2007 / 03 Vol. 38; Iss. 3

Removal of Carbon Contamination on Si Wafers with an Excimer Lamp

MAYUMI TODE, YASUO TAKIGAWA, TAIZO IGUCHI, HIDEHARU MATSUURA, MASATO OHMUKAI, WATARU SASAKI
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Volume:
38
Langue:
english
Pages:
3
DOI:
10.1007/s11661-007-9104-y
Date:
March, 2007
Fichier:
PDF, 198 KB
english, 2007
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