Direct Write of 3D Nanoscale Mesh Objects with Platinum...

Micromachines 2020 / 05 Vol. 11; Iss. 5

Direct Write of 3D Nanoscale Mesh Objects with Platinum Precursor via Focused Helium Ion Beam Induced Deposition

Belianinov, Alex, Burch, Matthew J., Ievlev, Anton, Kim, Songkil, Stanford, Michael G., Mahady, Kyle, Lewis, Brett B., Fowlkes, Jason D., Rack, Philip D., Ovchinnikova, Olga S.
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Volume:
11
Journal:
Micromachines
DOI:
10.3390/mi11050527
Date:
May, 2020
Fichier:
PDF, 6.14 MB
2020
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