Shallow Si donor in ion-implanted homoepitaxial AlN

Applied Physics Letters 2020 / 04 Vol. 116; Iss. 17

Shallow Si donor in ion-implanted homoepitaxial AlN

Hayden Breckenridge, M., Guo, Qiang, Klump, Andrew, Sarkar, Biplab, Guan, Yan, Tweedie, James, Kirste, Ronny, Mita, Seiji, Reddy, Pramod, Collazo, Ramón, Sitar, Zlatko
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Volume:
116
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.5144080
Date:
April, 2020
Fichier:
PDF, 1.61 MB
2020
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