Multilayer film passivation for enhanced reliability of...

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 2020 / 03 Vol. 38; Iss. 2

Multilayer film passivation for enhanced reliability of power semiconductor devices

Busca, Roberta, Cimmino, Davide, Ferrero, Sergio, Scaltrito, Luciano, Pirri, Candido Fabrizio, Richieri, Giovanni, Carta, Rossano
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Volume:
38
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology B
DOI:
10.1116/1.5121880
Date:
March, 2020
Fichier:
PDF, 4.71 MB
2020
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