Development and control of a large range XYΘ...

Mechatronics 2020 / 04 Vol. 66

Development and control of a large range XYΘ micropositioning stage

Al-Jodah, Ammar, Shirinzadeh, Bijan, Ghafarian, Mohammadali, Das, Tilok Kumar, Tian, Yanling, Zhang, Dawei, Wang, Fujun
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Volume:
66
Journal:
Mechatronics
DOI:
10.1016/j.mechatronics.2020.102343
Date:
April, 2020
Fichier:
PDF, 5.76 MB
2020
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