Glow discharge in low pressure plasma PVD: mathematical...

Meccanica 2011 / 08 Vol. 46; Iss. 4

Glow discharge in low pressure plasma PVD: mathematical model and numerical simulations

A. Speranza, L. Barletti, L. Meacci, S. Fanfani, I. Borsi, A. Monti
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Volume:
46
Langue:
english
Pages:
17
DOI:
10.1007/s11012-010-9330-z
Date:
August, 2011
Fichier:
PDF, 1.75 MB
english, 2011
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